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在半導(dǎo)體制造濕法清洗工藝中，常用的清洗液就是去離子水（DIW， De-Ionzied Water），去離子水也被稱為“超純水”或是“18兆歐水”。水中含有導(dǎo)電的陰陽離子，去離子水就是去除水中的導(dǎo)電離子，使水基本不導(dǎo)電。在半導(dǎo)體制造中，直接使用原水是根本不允許的， 一方面原水中的陰陽離子會(huì)污染晶圓的器件結(jié)構(gòu)， 另一方面可能會(huì)引起器件的性能偏離。如原水可能會(huì)與晶圓表面的材料發(fā)生反應(yīng)而腐蝕，或者會(huì)與晶圓上的一些金屬形成電池腐蝕，還有可能引起晶圓表面電阻率的直接變化，從而導(dǎo)致晶圓的良率大幅下降甚至直接報(bào)廢。在某些工藝步驟中，需要將去離子水加熱到特定溫度以優(yōu)化反應(yīng)效率或清洗效果。

去離子水加熱可以選擇多種設(shè)備，具體選擇取決于加熱需求、精度要求、安全標(biāo)準(zhǔn)以及成本考慮。高溫空氣能熱泵針對去離子水加熱有著不錯(cuò)的應(yīng)用效果。

近日，張家港某半導(dǎo)體企業(yè)有去離子水加熱需求，在尋求加熱設(shè)備的時(shí)候，了解到高溫空氣能熱泵更節(jié)能，億家人在原有高溫空氣能熱泵的基礎(chǔ)上做了技術(shù)改進(jìn)和調(diào)整，使其更適合該企業(yè)去離子水加熱工藝。

在系統(tǒng)設(shè)計(jì)方面，確?？諝饽軣岜孟到y(tǒng)的設(shè)計(jì)合理，能夠滿足加熱去離子水的具體需求?？紤]系統(tǒng)的熱負(fù)荷、水流速度、壓力損失等因素，以確保系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性。

在選擇加熱設(shè)備時(shí)，還需要考慮設(shè)備的安全性、耐用性、維護(hù)成本以及與現(xiàn)有系統(tǒng)的兼容性。億家人建議客戶根據(jù)具體需求咨詢相關(guān)工程師或設(shè)備供應(yīng)商，以選擇合適的加熱設(shè)備。

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